TN4　微电子学、集成电路（IC）

 
　　　TN40　一般性问题 
　　　　TN401　理论 
　　　　TN402　设计 
　　　　TN403　结构 
　　　　TN405　制造工艺 
　　　　　TN405.95　隔离技术 
　　　　　TN405.96　引线技术 
　　　　　TN405.97　互连及多层布线技术 
　　　　　TN405.98　干法腐蚀工艺 
　　　　TN406　可靠性及例行试验 
　　　　TN407　测试和检验 
　　　　TN409　应用 
　　　　　　TN41/495　各种集成电路 
　　　TN41　印刷电路 
　　　TN42　微模组件 
　　　TN43　半导体集成电路（固体电路） 
　　　　TN431　双极型 
　　　　　TN431.1　线性集成电路、模拟集成电路 
　　　　　TN431.2　数字集成电路、逻辑集成电路 
　　　　TN432　场效应型 
　　　　TN433　BICMOS（双极-MOS混合）集成电路 
　　　TN44　膜集成电路 
　　　TN45　混合集成电路 
　　　　TN451　薄膜混合集成电路（薄膜电路） 
　　　　TN452　厚膜混合集成电路（厚膜电路） 
　　　　TN453　半导体混合集成电路 
　　　　TN454　微波混合集成电路（微波集成电路） 
　　　　TN455　微带电路 
　　　TN46　中规模集成电路 
　　　TN47　大规模集成电路、超大规模集成电路 
　　　TN48　真空集成电路 
　　　TN491　光学集成电路（集成光路） 
　　　TN492　专用集成电路 
　　　TN495　功能块（分子电路）